หน่วยกิต: ปริญญานิพนธ์ 36 หน่วยกิต

ระยะเวลา: ระยะเวลาการศึกษาตลอดหลักสูตร 2 ปี

วันเรียน: จันทร์–ศุกร์

ค่าธรรมเนียม: ภาคการศึกษาละ 35,000 บาท ค่าธรรมเนียมตลอดหลักสูตร 140,000 บาท

คุณสมบัติผู้สมัคร:

สำเร็จการศึกษาระดับปริญญาตรีวิศวกรรมศาสตรบัณฑิต หรือวิทยาศาสตรบัณฑิต และมีประสบการณ์ทำงานเกี่ยวข้องกับสาขาวิชาวิศวกรรมเทคโนโลยีพลาสมาและระบบกลไฟฟ้าจุลภาค หรือสาขาที่เกี่ยวข้อง มาแล้วไม่น้อยกว่า 1 ปี หรือสำเร็จศึกษาระดับปริญญาตรีวิศวกรรมศาสตรบัณฑิตหรือ วิทยาศาสตรบัณฑิต โดยมีผลการเรียนระดับปริญญาตรีไม่น้อยกว่า 3.0 หรือ ได้รับเกียรตินิยมอันดับ 2 เป็นอย่างน้อย

หน่วยกิต: เรียนคอร์สเวิร์ก 21 หน่วยกิต ปริญญานิพนธ์ 15 หน่วยกิต

ระยะเวลา: ระยะเวลาการศึกษาตลอดหลักสูตร 2 ปี

วันเรียน: จันทร์–ศุกร์

ค่าธรรมเนียม: ภาคการศึกษาละ 35,000 บาท ค่าธรรมเนียมตลอดหลักสูตร 140,000 บาท

คุณสมบัติผู้สมัคร:

สำเร็จการศึกษาระดับปริญญาตรีวิศวกรรมศาสตรบัณฑิต หรือวิทยาศาสตรบัณฑิตสำเร็จศึกษาระดับปริญญาตรีวิศวกรรมศาสตรบัณฑิต หรือ วิทยาศาสตรบัณฑิต โดยมีผลการเรียนระดับปริญญาตรีไม่น้อยกว่า 2.0