หน่วยกิต: ปริญญานิพนธ์ 48 หน่วยกิต

ระยะเวลา: ระยะเวลาการศึกษาตลอดหลักสูตร 3 ปี

วันเรียน: จันทร์–ศุกร์

ค่าธรรมเนียม: ภาคการศึกษาละ 50,000 บาท ค่าธรรมเนียมตลอดหลักสูตร 300,000 บาท

คุณสมบัติผู้สมัคร:

สำเร็จการศึกษาระดับปริญญาโทวิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต หรือวิทยาศาสตรมหาบัณฑิต และมีประสบการณ์ทำงานเกี่ยวข้องกับสาขาวิชาวิศวกรรมเทคโนโลยีพลาสมาและระบบกลไฟฟ้าจุลภาค หรือสาขาที่เกี่ยวข้อง มาแล้วไม่น้อยกว่า 1 ปี หรือผ่านเกณฑ์เงื่อนไขภาษาต่างประเทศตามประกาศมหาวิทยาลัย